许可范围：氨、氮[压缩的或液化的]、二氯硅烷、二氧化碳[压缩的或液化的]、二乙基锌、氦[压缩的或液化的]、镓、甲硅烷、磷化氢、六氟化硫、六氟化钨、氯化钴、氢、三氟化氮、三氟化硼、三甲基铝、三溴化硼、四氯化锆、四氯化硅、四氯化钛、四氛化碳、四氯化锗、钛酸四乙酯、钛酸四异丙酯、五氯化铌、氩[压缩的或液化的]、氧[压缩的或液化的]、一氧化氮、乙硼烷、锗烷。